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2022

2022

  • 分類：發展歷史
  • 作者：
  • 來源：
  • 發布時間：2022-09-26
  • 訪問量：0

【概要描述】Ø 2 inch 規模量產，Ø 4 inch 小批量供貨，Ø 7 inch 樣品研發。
位錯密度：研發水平10³cm⁻²，量產水平10⁵cm⁻²。

2022

【概要描述】Ø 2 inch 規模量產，Ø 4 inch 小批量供貨，Ø 7 inch 樣品研發。
位錯密度：研發水平10³cm⁻²，量產水平10⁵cm⁻²。

  • 分類：發展歷史
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  • 發布時間：2022-09-26
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作為課題承擔單位獲得國家重點研究計劃“第三代半導體的襯底制備及同質外延”項目支持

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